nre-4000是一款獨立式rie反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷rf樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持最大到12”的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mtorr到8torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機(jī)械泵(帶formblin泵油).rf射頻功率通過600w,13.56mhz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500v.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。
更新時間:2024-03-28