產(chǎn)用途:結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡,結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序,兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn),可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量,適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用域包含:玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機(jī)電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。
產(chǎn)特點(diǎn):● 納米深度3D檢測● 高速、無接觸量● 表面形狀、粗糙度分析● 非透明、透明材質(zhì)皆適用● 非電子束、非雷射的安全量測● 低維護(hù)成本
的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo):● 提供多功能又具友好界面的3D圖形處理與分析● 提供自動表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Roughness)與起伏度● (waviness)的測量分析。可提供多達(dá)17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)(Wafer)● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換(FFT)處理功能● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan):● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan處理軟件自動解析白光干涉條紋● 垂直高度可達(dá)0.1nm● 高速的分析算法則,讓你不在苦候測量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺X、Y、Z位置數(shù)字式顯示,使檢測目標(biāo)尋找快速又便利● 具有手動/自動光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得佳的干涉條紋對比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動補(bǔ)點(diǎn)功能● 可自行設(shè)定掃描方向
萬濠rational 納米白光干涉儀AE-100M技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號 | AE-100M | ||
移動臺(mm) | 平臺尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
觀察與量測范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光學(xué)分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
機(jī)臺重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z軸移動范圍 | 45mm , 手動細(xì)調(diào);可訂制150mm | ||
Z軸位置數(shù)字顯示器 | 分辨力1μm | ||
傾斜調(diào)整平臺 | 雙軸/手動調(diào)整 | ||
高度測量 | |||
測量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
量測分辨力 | 0.1nm | ||
重復(fù)精度 | ≤ 0.1% (量測高度:>10μm) | ||
≤10nm(量測高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量測高度:<1μm ) | |||
量測控制 | 自動 | ||
掃描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源類型 | 儀器用鹵素(冷)光源 | ||
平均使用壽命 | 1000小時(shí)100W 500小時(shí)(150W) | ||
光強(qiáng)度調(diào)整 | 自動/手動 | ||
數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī) | |||
中央處理運(yùn)算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 21" 雙晶屏幕 | ||
操作系統(tǒng) | Win7 | ||
電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
環(huán)境振動 | VC-C等以上 | ||
測量分析軟件 | |||
量測軟件ImgScan | ImgScan測量軟件:具VSI/ PVSI/PSI 測量模式(PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配) | ||
分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析,快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波,多樣的2D和3D 觀測視角圖,外形/面積/體積分析,圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換 報(bào)表輸出,程序教導(dǎo)測量等。 |
萬濠rational 納米白光干涉儀AE-100M
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品牌: | SNU | 型號: | SIS 2000 | 操作方式: | 自動 |
功能: | 檢測、觀察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型號: | SIS 1200 |
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Talysurf CCI 6000白光干涉儀 隨著科技潮流,非接觸式的量測至今已被廣泛的應(yīng)用在生產(chǎn)及研發(fā)上,而Taylor Hobson經(jīng)多年的研發(fā)于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉儀可堪稱目前世界上精度最高功能最強(qiáng)的白光干涉儀,,其超高解析度的特性(0.1Å),可以運(yùn)用在量測晶圓 ,微機(jī)電及拋光元件等產(chǎn)品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等,而非破壞性的特性更可以有效的量測軟性物質(zhì),在邁入奈米紀(jì)元同時(shí)相信Talysurf CCI 6000絕對是各大企業(yè)不可少的量測系統(tǒng)。 Talysurf CCI 6000白光干涉儀: &解析度(Z軸) 0.01nm (0.1Å) &測量范圍(Z軸) 100um &測量范圍(X x Y) 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm(依物鏡倍率不同可自由選擇) &1024 x 1024 高解析量測點(diǎn)數(shù) &受測物的反射率 0.3% - 100% (透明物亦可量測) 硬件及軟件 &氣浮式防震系統(tǒng)已隔絕樓板震動‧隔離罩以隔離外在環(huán)境避免影響量測精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系統(tǒng) CCI干涉儀 Mirau 干涉 白光干涉儀3D分析軟件 &Talymap 3D & 2D 分析軟體。 &可分析項(xiàng)目: 粗度 平面度 波紋 膜厚 體積計(jì)算 承壓比值 等等。 &微機(jī)電尺寸計(jì)算(距離 高度 等計(jì)算)‧表面頻譜分析(FFT) MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉儀應(yīng)用: &MEMS 微小尺寸計(jì)算 &Silicon Wafer 表面粗度 平面度 &非球面鏡表面粗糙度 &硬碟 光碟表面組織形狀 &OLED PDP LCD 膜厚分析計(jì)算
供應(yīng)張家港常熟靖江揚(yáng)州廠家二次元三次元白光干涉儀智泰集團(tuán)南通辦事處主要從事光學(xué)影像量測儀、三維激光抄數(shù)機(jī)、光譜儀、無損探傷儀、白光干涉儀、三坐標(biāo)測量儀和投影儀在蘇北地區(qū)的銷售和售后服務(wù)。 同時(shí)也承接各種精密測量儀器技術(shù)咨詢,測量儀維修,改造服務(wù)。 公司生產(chǎn)的儀器廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、汽配、摩配、制冷、家電、廚具、電機(jī)、電動工具、軸承、精密五金、精密工具、刀具、模具、沖壓制品、光學(xué)元件、塑膠制品等行業(yè)?蓽y軸承套圈、滾針、滾子、鋼球、電機(jī)軸、電機(jī)換向器(整流子)、花鍵軸、齒輪軸、凸輪軸、曲軸、圓柱銷、活塞銷、活塞、缸套、氣門、閥門、齒輪、凸輪、油泵油嘴、液壓件、氣動件、紡機(jī)配件等工件相關(guān)參數(shù);適用于科研院所、大專院校、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室、車間在線檢測等。我公司產(chǎn)品使用范圍廣,成立十年來一直暢銷于各行各業(yè). Super View超大行程系列基本信息品牌: 3DFAMILY 型號: SV1200 操作方式: 自動功能: 三維測量 精度 : 4.5μm 軟件: OVM Pro其它型號: SV1500 SV1000
產(chǎn)品介紹 Super View超大行程系列量測儀是3DFAMILY又一創(chuàng)新力作,產(chǎn)品擁有多項(xiàng)專利設(shè)計(jì),彌補(bǔ)了目前市場上銷售各品牌大行程機(jī)型的多項(xiàng)缺陷。 產(chǎn)品特點(diǎn)1、采用流線型外觀,減少運(yùn)行時(shí)的阻力,提率。2、模塊化設(shè)計(jì),超大行程移動橋架式結(jié)構(gòu),運(yùn)行性能穩(wěn)定,且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。3、的低阿貝誤差,測量精度大幅度提升。4、日本三洋伺服馬達(dá),X、Y軸加裝德國高減速比減速機(jī)減少馬達(dá)負(fù)載、提高運(yùn)行速度使運(yùn)行速度快、穩(wěn)定。5、Y軸同步傳動X軸硬件閉環(huán)結(jié)構(gòu),確保運(yùn)行時(shí)不會出現(xiàn)左右偏擺或甩尾的現(xiàn)象。技術(shù)參數(shù) 具體型號 SV-1200測量行程(X/Y/Z) 1000×1200×200(mm)機(jī)臺尺寸(長/寬/高) 1800×2500×1500(mm)機(jī)臺承重 20KG機(jī)臺 底座、立柱和橫梁材料為高精度花崗石光源材質(zhì) LED冷光源精度 (4.5+L/200)?m放大倍率 光學(xué)放大率:0.7X-4.5X,影像放大率:28X-180X光學(xué)尺解析度 1?m重復(fù)性 4.5?m操作方式 自動顯示器 17"液晶電源供給 220±10%適宜溫度 、濕度 溫度:20±2℃ 濕度:55%-65%保修期 一年應(yīng)用領(lǐng)域大型鈑金件、PCB板及目前最熱門的TFT產(chǎn)業(yè)的刀模、背光板、絕緣材料、面版、邊框行業(yè)等 附件CCD、鏡頭、光學(xué)尺、LED冷光源、OVM Pro軟件等
白光干涉儀:非接觸式三維表面形狀測量儀可以沿垂直軸方向?qū)Ρ粶y物體進(jìn)行掃描,它采用光學(xué)干涉技術(shù),精密測量樣品的表面形狀分布。 與共聚焦顯微鏡、調(diào)焦顯微鏡等三維表面測量技術(shù)相比,該表面形狀測量儀具有更高的垂直分辨率。
Sunny VSI三維表面形狀測量儀可安裝在配套的三維數(shù)控平臺上,實(shí)現(xiàn)橫向掃描。
系統(tǒng)構(gòu)成1)光學(xué)照明系統(tǒng)2)光學(xué)成像系統(tǒng)3)垂直掃描控制系統(tǒng):4)信號處理系統(tǒng):5)應(yīng)用軟件:6)顯示器
應(yīng)用領(lǐng)域LED晶片基板測量表面粗糙度/平整度分析硬盤懸臂焊接點(diǎn)的直徑測量太陽能電池紋理缺陷檢測
參數(shù) 白光干涉儀型 號 Sunny VSI 垂直測量分辨率 0.05um 橫向測量分辨率 2.767um/plxels 圖像分辨率 768*576 plxels 掃描體積 2.125mm*1.593mm*100um 均方根值重復(fù)精度 <0.5nm
白光干涉儀網(wǎng)址 www.-china.com
德國BMT WLIRing 干涉儀 |
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德國BMT WLIRing 干涉儀 該測量系統(tǒng)用于快速準(zhǔn)確測量圓柱形工件的表面形貌,計(jì)算粗糙度參數(shù),微型結(jié)構(gòu),及內(nèi)外部表面特征。 特點(diǎn) l 對內(nèi)外層都可進(jìn)行測量 l 光滑粗糙表面都可進(jìn)行測量 l 測量結(jié)果不受工件的顏色和材料影響 l 數(shù)秒內(nèi)進(jìn)行快速測量 l 用于在線測量的OEM測量頭 l 光源:LED l 垂直分辨率(nm):<1 l 水平分辨率(μm):≥1 l 焦距,大約(mm):1 l 測量區(qū)域的尺寸:由物體決定 l 圖像尺寸(Pixel):1000×1000 移動平臺 l Z軸(mm):10~50 l 步進(jìn)速度(μm/min):1 |
產(chǎn)特點(diǎn):● 納米深度3D檢測● 高速、無接觸量● 表面形狀、粗糙度分析● 非透明、透明材質(zhì)皆適用● 非電子束、非雷射的安全量測● 低維護(hù)成本
的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo):● 提供3D圖形處理與分析● 提供自動表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Roughness)與起伏度● (waviness)的測量分析?商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)(Wafer)● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換(FFT)處理功能● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan):● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan處理軟件自動解析白光干涉條紋● 垂直高度可達(dá)0.1nm● 高速的分析算法則,讓你不在苦候測量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺X、Y、Z位置數(shù)字式顯示,使檢測目標(biāo)尋找快速又便利● 具有手動/自動光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得佳的干涉條紋對比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動補(bǔ)點(diǎn)功能● 可自行設(shè)定掃描方向技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號 | AE-100M | ||
移動臺(mm) | 平臺尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
觀察與量測范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光學(xué)分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
機(jī)臺重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z軸移動范圍 | 45mm , 手動細(xì)調(diào) | ||
Z軸位置數(shù)字顯示器 | 分辨力1μm | ||
傾斜調(diào)整平臺 | 雙軸/手動調(diào)整 | ||
高度測量 | |||
測量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
量測分辨力 | 0.1nm | ||
重復(fù)精度 | ≤ 0.1% (量測高度:>10μm) | ||
≤10nm(量測高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量測高度:<1μm ) | |||
量測控制 | 自動 | ||
掃描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源類型 | 儀器用鹵素(冷)光源 | ||
平均使用壽 | 1000小時(shí)100W 500小時(shí)(150W) | ||
光強(qiáng)度調(diào)整 | 自動/手動 | ||
數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī) | |||
中央處理運(yùn)算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 17 " 雙晶屏幕 | ||
操作系統(tǒng) | Windows XP(2) | ||
電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
環(huán)境振動 | VC-C等以上 | ||
測量分析軟件 | |||
量測軟件ImgScan | ImgScan測量軟件:具VSI/ PVSI/PSI 測量模式(PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配) | ||
分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析,快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波,多樣的2D和3D 觀測視角圖,外形/面積/體積分析,圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換 報(bào)表輸出,程序教導(dǎo)測量等。 |
獲取報(bào)價(jià)請電議,或者訪問中圖儀器與我們?nèi)〉寐?lián)系,http://www.chotest.com SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件表面進(jìn)行亞納米測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀只需操作者裝好被測器件,在軟件測量界面上設(shè)置好視場參數(shù),調(diào)整鏡頭到接近器件表面,選擇自動聚焦,儀器會對器件表面進(jìn)行自動對焦并找到干涉條紋,調(diào)節(jié)好干涉條紋寬度后即可開始進(jìn)行掃描測量;掃描結(jié)束后,軟件分析界面自動生成器件3D圖像,操作者可通過軟件對生成的3D形貌進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。
SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法,它具有測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn),其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。
系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng),操作方便。
二、 產(chǎn)品功能1.行業(yè)域和應(yīng)用對象
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。