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光伏電池片hmds處理系統(tǒng)，hmds預(yù)處理烘箱就是涂膠要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過hmds表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。
更新時間:2024-12-23
氮氣烘箱，掩膜板烘箱目的是用加熱蒸發(fā)的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶劑，增強光阻與掩膜版基板之間的粘附力，并使光阻起到固化的作用；同時，涂覆光阻后的掩膜版在曝光顯影后也需要做顯影后烘，目的是祛除掩膜版上多余的水分、殘留溶劑和消除駐波效應(yīng)。
更新時間:2024-12-23
hmds烘箱用真空泵，hmds系統(tǒng)無油泵為無油、緊湊型、噪音小的高性能真空泵。idp 泵采用單面渦輪設(shè)計，可通過簡單的工具直接執(zhí)行 15 分鐘的維護操作。高泵送速度和緊湊的尺寸使其成為研究，分析儀器和實驗室市場中許多應(yīng)用的理想選擇。
更新時間:2024-12-23
氮氣潔凈烘箱 光刻膠無塵烘箱 前烘氮氣烘箱 百級烤箱在勻膠結(jié)束后，使用溫度95°烘5min來提高光刻膠的致密性以及與晶圓的粘附性。
更新時間:2024-12-23
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